Electicidad Y Maggnetismo

El tipo 5331 es un grabado por iones reactivos (RIE) equipo para hacer el grabado de las películas de silicio policristalino, óxido y

nitruro de películas con el uso de CF4, CHF3 y gases SF6 con el fin de fabricar la estructura de los dispositivos electrónicos de sus películas, y también

poseedor de una representación de una incineración de resina fotosensible que utilizan gas de O2.

Especificaciones 〇

• Alcanzables Presión: <5 × máximo nivel de presión 10-4PA a temperatura ambiente, sin carga y después de la limpieza

• Sistema de escape de vacío: la bomba Rotario de 240L / s a 50Hz, mecánico de la bomba de refuerzo de 30m3 / h en 50 Hz, Turbo molecular de la bomba de 150L / s

• Tamaño de la Cámara a partir de SUS316: φ400mm × 210mmH (apertura y el método de cierre del párpado superior, y el pulido electrolítico para la cámara se realizó como tratamiento previo.

• Distancia entre electrods es posible cambiar de 20 mm a 60 mm.

• Estructura de los electrodos: cátodo electrodo con φ150mm introducido desde la parte inferior de cámara.

Tipos • De Grabado: Grabados ◉ para el óxido (SiO2) y Nitruro (Si3N4) películas con CF4 y gases CHF3

◉ Grabado de las películas de silicio policristalino que utilizan gas SF6/O2.

◉ Profundamente Grabado de las películas de Si utilizando gas SF6

◉ incineración de resina fotosensible que utilizan gas de O2

• Sistema de Electrods: Tamaño de la catódicos: φ160mm × 32mm (electrodo: φ150mm) a base de materiales SUS316

Gas mecanismo de pulverización de tipo incorporado con el levantamiento de la acción (20 ~ 60 mm ajustable)

RF fuente de alimentación de 300W en 13,56 (con la estabilidad de la salida dentro del ± 2%) con una unidad de concordancia automática impedancia

• Gas usa para grabar: Cuatro sistema de gas de CF4/CHF3/SF6/O2 (importe del flujo de gas están controladas por el flujo de masa metros

• Utilidad: Electricidad Powe Suministro de AC200V, 3KVA de tres fases

Sistema de refrigeración de agua con el caudal más de 5L/min a presiones de 0,1 ~ 0.15MPa por debajo de 25 ℃

Aire comprimido: 0.5MPa o más

• Dimensiones de montaje: 1200mmW × × 900mmL (1740) mmHg (Al abrir la tapa de la cámara)

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