Shock-induced aluminum nitride based MEMS energy harvester to power a leadless pacemaker

Articulo 1

“Shock-induced aluminum nitride based MEMS energy harvester to power a leadless pacemaker”

Se propone la innovación en la fabricación de marcapasos, reemplazando el plomo por un dispositivo de cosechadora de energía a base de silicio, que al mismo tiempo utiliza el Aluminio lineal de nitruro como capa piezoeléctrica MENS debido a la alta figura de poder de mérito que este último posee y su biocompatibilidad con el CMOS. En ese mismo orden de ideas, una de las razones por las que se plantea dicha propuesta es para evitar la cirugía invasiva que normalmente tienen los pacientes y que pueda llegar a tener varias complicaciones. Ahora bien, el marcapasos sin plomo tiene forma de capsula cilíndrica que contiene un tornillo, dos electrodos, la electrónica y el módulo de poder. Sin embargo, debido a la presencia de problemas en la equivalencia entre el tamaño que puede ser en micro escala o en macro escala y la densidad de potencia necesaria para que el corazón funcione correctamente. Para llevar a cabo el marcapasos sin plomo se diseñó inicialmente una aceleración baja en Aluminio lineal de Nitruro, basada en la energía que cosecha el dispositivo que usa un sustrato  de silicio sobre aislador. Además, este aparato conlleva consigo una  oblea con instrucción especial de silicio usada para definir el rayo y control de masas. Asimismo, se depositó y modelo un oxido termal para actuar como la máscara durante el agua fuerte de DRIE de silicio. También, se encamaron Titanio, Aluminio lineal de nitruro y Aluminio a partir de una corriente eléctrica que uso una combinación de seco y mojada con técnicas fuertes que incluían el agua. Luego, se empleó el silicio comprensivamente acentuado para compensar la capa de Aluminio lineal de nitruro extensible, para prevenir que esta última se torciese.

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