DISEÑO MIC SUMMIT

La microingeniería se refiere a las tecnologías y procesos para crear estructuras tridimensionales y dispositivos en la escala de micrómetros. Dentro de estas tecnologías se encuentran dos grandes vertientes, la microelectrónica (producción de circuitos electrónicos en chips de silicio) y el micromaquinado (técnicas para producir estructuras y partes móviles para dispositivos micrométricos) (1).

En ocasiones se hace referencia a MEMS (MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEMS), como una tecnología, refiriéndose al proceso de miniaturización de elementos mecánicos y electro-mecánicos. En esta área los elementos más comunes y probablemente los más interesantes son los microsensores y microactuadores. Propiamente, dichos elementos se categorizan como transductores, dado que son dispositivos que convierten energía de una forma a otra (2).

Debido a la importancia de estos dispositivos en el desarrollo tecnológico, se han creado métodos de fabricación cada vez más eficientes. Uno de estos métodos se denomina SUMMIT V, desarrollado por la corporación Sandia. Dicha empresa cuenta con uno de los mejores laboratorios a nivel mundial, Sandia National Laboratories, cuya sede principal se encuentra en Alburqueque, Nuevo México, Estados Unidos. El proceso de fabricación con tecnología ultra-planar multinivel MEMS 5 (SUMMIT V), es un proceso de micromaquinado superficial de cinco capas de silicio policristalino (un plano de tierra / capa de interconexión eléctrica y cuatro capas mecánicas) (3).

Para llevar a cabo la fabricación de un dispositivo MEMS, es necesario realizar un diagrama de la estructura que se desea. Esto se realiza utilizando un software que la misma empresa ha desarrollado, se trata de Sandia MEMS Design Tools, el cual opera bajo la plataforma de Autocad.

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