Peliculas delgadas y recubrimientos

PELÍCULAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS

INFLUENCIA DEL TRATAMIENTO TÉRMICO SOBRE EL ESPESOR Y POROSIDAD DE PELÍCULAS DELGADAS DE ZrO2 OBTENIDAS POR LA RUTA SOL-GEL[1].

La vía sol-gel es una alternativa de gran interés para obtener recubrimientos cerámicos delgados. Para la determinación del espesor y la porosidad de las películas se utilizaron espectros de transmisión utilizando el método de Swanepoel, ese proceso se llevó a cabo a temperaturas entre 100-1110ºC, utilizando como sustratos láminas de cuarzo fundido (SiO2 99.9 %), descubriendo que la reducción de porosidad se observaba entre 100 y 300 ºC esto debido principalmente a la extensión de las reacciones de policondensación entre grupos Zr-OH que van cerrando la porosidad. A temperaturas superiores a 800 ºC, la porosidad del recubrimiento se redujo notablemente al aumentar la temperatura o el tiempo de tratamiento, permitiendo alcanzar la densificación prácticamente total del recubrimiento[1].

RECUBRIMIENTOS DE (Ti,Al)N SOBRE ACERO AISI 4140 POR SPUTTERING REACTIVO[2].

Empleando la técnica de Pulverización catódica con radiofrecuencia y magnetrón (Magnetrón Sputtering RF), se prepararon películas de (Ti,Al)N sobre sustratos de acero AISI 4140. Se utilizó un blanco formado con polvos metálicos de Ti y Al, con composición nominal 60% Ti y 40% Al y una razón de presiones parciales de nitrógeno - argón, PN2/PAr de 0,1 aproximadamente; la temperatura del sustrato se varió entre 260 y 330 ºC y el tiempo de deposición entre 2 y 4,5 horas para obtener películas con diferentes espesores. La composición química de las películas se determinó mediante la técnica de energía dispersada de rayos X (EDX), y su topografía mediante microscopía de fuerza atómica (AFM). Se midió micro dureza, y se determinó su comportamiento electroquímico mediante espectroscopia de impedancia electroquímica EIS y ensayos TAFEL. Las películas obtenidas presentaron granos globulares, uniformes y de pequeño diámetro, con características electroquímicas de protección al sustrato frente a procesos de corrosión [2].

[1] Díaz-Parralejo, Antonio & Caruso, R. & Cabanillas, Fernando. (2004). Influencia del tratamiento térmico sobre el espesor y porosidad de películas delgadas de ZrO2 obtenidas por la ruta sol-gel. Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, ISSN 0366-3175, Vol. 43, Nº. 2, 2004 (Ejemplar dedicado a: VII Reunión Nacional de Materiales), pags. 477-479. 43. 10.3989/cyv.2004.v43.i2.573.

[2] Garcia, Danna & Marino, Alvaro & Piratoba, Ulises. (2007). Recubrimientos de (ti,al)n sobre acero aisi 4140 por sputtering reactivo. Dyna. 74.

...